设备简介：该系统FIB聚焦离子束拥有强大的精细加工和微观分析能力，能够进行固体样品表面形貌观察、对材料进行微纳级别的定点加工与表征、实现截面分析成像及透射样品、三维原子探针（APT）样品制备等。配置的探测器，可以实现透射BF、DF、HADDF成像。结合能谱仪、电子背散射仪可以实现微区成分和晶体学结构分析。