设备简介：该设备系统（场发射扫描电镜 +能谱仪+电子背散射衍射仪）可以对金属、无机非金属材料、半导体、生物等多种材料进行纳米尺度微观分析。可以获得高分辨形貌像；结合X射线能谱仪可进行微区元素定性和定量分析；结合电子背散射衍射仪可以进行微区取向、微观织构等晶体学分析。